LE 系列大流量液体源汽化控制系统 LE 系列大流量高效汽化器将通道和加热器元件嵌入铸铝块,确保最大的传热率,并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300℃ 的温度下运行,IPA(或等效物质)汽化效率可达 30g/min。 特征: 新设计实现汽化率的最大化 新喷嘴确保持续稳定的液体注入,实现稳定的蒸气输出浓度 全不锈钢设计最大限度地提高耐腐蚀性,减少颗粒产生 适用于多种液体材料 技术参数: Application liquid H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. Maximum vaporization volume (gas flow rate) H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA : 30g/min (11.1 SLM) TEOS : 50g/min(5.3 SLM) SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM)