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Yamato 等离子灰化机 PR500 PR510 PR1000

低温等离子·经典桶型。

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去除光刻胶
部品清洗
界面活性处理
微研磨

硅晶圆，玻璃基板对应


大口径（Φ215mm）石英反应腔
小型一体化设计
操作简单的触摸屏方式（PR510型/1000）


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